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廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵進(jìn)口真空泵維修

旋片泵主要由泵體、轉子、旋片、端蓋、彈簧等組成。在旋片泵的腔內偏心地安裝一個(gè)轉子，轉子外圓與泵腔內表面相切（二者有很小的間隙），轉子槽內裝有帶彈簧的二個(gè)旋片。旋轉時(shí)，靠離心力和彈簧的張力使旋片頂端與泵腔的內壁保持接觸，轉子旋轉帶動(dòng)旋片沿泵腔內壁滑動(dòng)。進(jìn)口真空泵維修

電子束蒸發(fā)鍍膜需要高真空環(huán)境！

電子束蒸發(fā)法是在真空條件下利用電子束進(jìn)行直接加熱蒸發(fā)材料, 使蒸發(fā)材料氣化并向基板輸運, 在基底上凝結形成薄膜的方法. 常見(jiàn)于半導體科研工業(yè)領(lǐng)域. 利用加速后的電子能量打擊材料標靶, 使材料標靶蒸發(fā)升騰. *終沉積到目標上.進(jìn)口真空泵維修

在蒸發(fā)鍍膜設備中, 真空鍍膜室的本底真空度要求較高, 一般真空度越高, 腔室內雜質(zhì)氣體的量越少, 鍍膜材料在沉積到基片上的過(guò)程中, 與環(huán)境中的雜質(zhì)氣體碰撞變少, 粒子的能量大, 可以在基片上形成更致密均勻的膜, 由于分子泵的無(wú)油和高真空特性, 逐漸取代了有油的擴散泵成為*普遍的真空系統,進(jìn)口真空泵維修

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廣州潽拓光電科技有限公司——varian分子泵varian T250 PUMP分子泵維修

盤(pán)式牽引級是在平板圓盤(pán)平面上按一定規律開(kāi)出數條型線(xiàn)溝槽，然后將數塊圓盤(pán)串接起來(lái)構成，型線(xiàn)有阿基米德螺線(xiàn)、對數螺線(xiàn)、圓弧線(xiàn)等。抽氣時(shí)靠高速轉動(dòng)的圓盤(pán)對氣體分子進(jìn)行"拖動(dòng)"，使其沿溝槽作由內向外及由外向內的往復折回的定向流動(dòng)，從而達到抽氣目的。varian T250 PUMP分子泵維修

筒式牽引級是在圓筒形的轉子或定子的圓柱面上開(kāi)一定斷面形狀的溝槽，如矩形、圓弧形、三角形及其它形狀的多頭螺旋槽。由于簡(jiǎn)式牽引泵型線(xiàn)溝槽開(kāi)在轉子圓柱外表面或泵體內表面上，因此可以充分利用圓柱外圓較高的線(xiàn)速度對氣體分子進(jìn)行動(dòng)量傳遞，提高泵的抽氣效果。在設計制造中，可以通過(guò)改變螺旋溝槽通道與抽氣方向之間的夾角 ( 螺旋升角 ) 來(lái)達到較理想的抽氣效果。varian T250 PUMP分子泵維修

當軸和軸套配合過(guò)緊時(shí)，再加滑潤油路不通暢，也會(huì )因互相粘碾卡死泵長(cháng)時(shí)間不用，泵腔內生銹;泵在濕度較大的環(huán)境下運轉或抽除潮濕氣體，使泵油變成乳濁液或泵油結垢甚至結殼泵油粘度過(guò)大(冬天);轉子在啟動(dòng)瞬間被打裂;有些泵的高、低真空室氣道上有半圓槽，其上壓的橡皮板被壓得太緊，堵死了中間氣道通路等等，均易使泵卡死。這種毛病常常是很危險的，因在卡死瞬間，由于轉子使電動(dòng)機超負荷或轉不動(dòng)，易使電機燒毀。即使不燒電機，如不及早停車(chē)修理，則會(huì )輾壞泵腔，打壞旋片，扭壞轉子，燒壞端面等，其后果總是很不好的。varian T250 PUMP分子泵維修

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分子泵應用常見(jiàn)問(wèn)題：

1、分子泵運行以前請確定分子泵安裝妥當，電纜恰當聯(lián)接并確定處在卡緊情況。

2、分子泵在接電源后及一切正常運行時(shí)旋轉工件是由磁場(chǎng)力支撐點(diǎn)飄浮的，請盡.量不必碰觸泵殼及控制板，非常是電纜，肯定不可以碰觸。

電壓的不穩定，特別對磁浮類(lèi)的分子泵損傷較大。前級泵的效率差;我們知道腔體內的大部分氣體首先是通過(guò)前級泵抽出，真空達到一定程度分子泵才會(huì )啟動(dòng)。如果前級泵的效率差，分子泵就會(huì )比較吃力，啟動(dòng)速度慢，抽氣時(shí)間長(cháng)，電流高，分子泵溫度升高等。

間隙一般為0.1～0.8毫米；不需要用油潤滑。轉子型線(xiàn)有圓弧線(xiàn)、漸開(kāi)線(xiàn)和擺線(xiàn)等。漸開(kāi)線(xiàn)轉子泵的容積利用率高，加工精度易于保證，故轉子型線(xiàn)多用漸開(kāi)線(xiàn)型。羅茨真空泵的轉速可高達3450～4100轉/分;抽氣速率為30～10000升/秒（1升=10-3米3）；極限真空：?jiǎn)渭墳?.5×10-2帕，雙級為1×10-3帕。真空渦輪分子泵維修

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